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| 徳島文理大学短期大学部 |
| 科目番号 | 10132 | 担当教員名 | 松田 和典 | 単位 | 2単位 |
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| 科目群 | 専門 | 必修・選択 | 選択 | 開講期 | 後期 | 対象年次 | 3,4年 |
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| 授業概要 |
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| 【授業概要】 情報関連機器に使われているセンサやマイクロマシンは微小電子機械デバイスであり，ＭＥＭＳと呼ばれている．本講義では半導体技術を拡張した微細加工法でつくられるＭＥＭＳの製造技術や応用事例について学習する． 【到達目標】 �．札鵐機Ε泪ぅ�ロマシン技術の特徴について理解する． ��微細構造製作ついて理解する． |
| 到達目標 |
| 授業計画 | 授業形態 | 授業時間外学習 | |
|---|---|---|---|
| 【1】 | 序論 | ||
| 【2】 | センサ・マイクロマシンの概要 | ||
| 【3】 | 微細構造製作プロセス技術�� | ||
| 【4】 | 微細構造製作プロセス技術�� | ||
| 【5】 | 微細構造製作プロセス技術�� | ||
| 【6】 | 物理センサ�� | ||
| 【7】 | 物理センサ�� | ||
| 【8】 | 物理センサ�� | ||
| 【9】 | 物理センサ�� | ||
| 【10】 | マイクロアクチュエータ�� | ||
| 【11】 | マイクロアクチュエータ�� | ||
| 【12】 | 化学センサ�� | ||
| 【13】 | 化学センサ�� | ||
| 【14】 | バイオセンサ�� | ||
| 【15】 | バイオセンサ�� | ||
| 評価方法 |
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| 宿題, 授業態度，試験により評価する. |
| 教科書 |
| 参考図書 |
| センサ・マイクロマシン工学（藤田博之編著，オーム社）\3,200- |
| 備考 |
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| 履修にあたっては電子材料，微細加工をとっていることが望ましい． |