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| 徳島文理大学短期大学部 |
| 科目番号 | 30002 | 担当教員名 | 松田 和典 | 単位 | 2単位 |
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| 科目群 | 専門 | 必修・選択 | 選択 | 開講期 | 後期 | 対象年次 | 1,2,3年 |
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| 授業概要 |
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| 光エレクトロニクス関連の材料には多くのものがある．情報関連の発光ダイオード(LED)，レーザー・ダイオード(LD)，照明関連の蛍光灯，ディスプレイ関連のテレビ，PC液晶モニター等々である．本授業ではこれらの材料の基本である半導体の物性と評価法について学ぶ． |
| 到達目標 |
| 半導体の物性評価法の基本的な技術について基本原理より理解し，説明できる． |
| 授業計画 | 授業形態 | 授業時間外学習 | |
|---|---|---|---|
| 【1】 | イントロダクション | ・講義 | 【復習】 半導体物性について復習しておく |
| 【2】 | 抵抗率の測定 | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【3】 | ホール効果測定法 | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【4】 | C-V測定 | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【5】 | ライフタイムおよび拡散長の測定 | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【6】 | DLTS法 | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【7】 | EBIC法 | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【8】 | 微量不純物の分析�機弊岾圧杣�） | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【9】 | 微量不純物の分析�供米鷦．ぅ�ン質量分析法SIMS） | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【10】 | 微量不純物の分析�掘癖�射化分析） | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【11】 | 微量不純物の分析�検淵侫�トルミネセンス法） | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【12】 | 微量不純物の分析�后�X線マイクロアナライザ） | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【13】 | 微量不純物の分析�后文胸匍杆�法） | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【14】 | 微量不純物の分析�此�ICP） | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 【15】 | まとめ | ・講義 | 【課題】 演習問題 |
| 評価方法 |
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| 出席，授業態度，レポートにより評価する． |
| 教科書 |
| 参考図書 |
| シリコンの物性と評価法（小間篤・白木靖寛・斉木幸一朗・飯田厚夫著，丸善） |
| 備考 |
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| 【オフィスアワー】月・火・木5時限，松田研究室 |