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| 徳島文理大学短期大学部 |
| 科目番号 | 20269 | 担当教員名 | 松田 和典 | 単位 | 2単位 |
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| 科目群 | 専門 | 必修・選択 | 選択 | 開講期 | 後期 | 対象年次 | 3年 |
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| 授業概要 |
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| 卒業研究において必要な実験手法・技術を学ぶ。 |
| 到達目標 |
| 【知識(理解)】半導体デバイスの機能・仕組みと製造技術について理解する． 【態度(関心・意欲)】半導体製造技術が現在も進展し，新しい分野が開けていることについて認識することができる． 【技能(表現)】基本的な半導体製造プロセス技術を習得する. 【思考・判断】半導体デバイスの機能や製造法について半藤体特有の物性から考えることができる． |
| 授業計画 | 授業形態 | 授業時間外学習 | |
|---|---|---|---|
| 【1】 | 半導体技術概論（１） | 演習 | |
| 【2】 | 半導体技術概論（２） | 演習 | |
| 【3】 | マイクロ・ナノデバイス概論（１） | 演習 | |
| 【4】 | マイクロ・ナノデバイス概論（２） | 演習 | |
| 【5】 | マイクロ・ナノデバイス概論（３） | 演習 | |
| 【6】 | マイクロ・ナノデバイス概論（４） | 演習 | |
| 【7】 | マイクロ・ナノデバイス概論（５） | 演習 | |
| 【8】 | 微細加工技術（１） | 演習 | |
| 【9】 | 微細加工技術（２） | 演習 | |
| 【10】 | 微細加工技術（３） | 演習 | |
| 【11】 | マイクロマシン作製実習（１） | 実習 | |
| 【12】 | マイクロマシン作製実習（２） | 実習 | |
| 【13】 | マイクロマシン作製実習（３） | 実習 | |
| 【14】 | マイクロマシン作製実習（４） | 実習 | |
| 【15】 | マイクロマシン作製実習（５） | 実習 | |
| 評価方法 |
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| 実験ノートを渡し，データ記入，解析などノートのまとめ方について評価する． |
| 教科書 |
| 配布資料． |
| 参考図書 |
| MEMSのはなし（前田龍太郎，日刊工業新聞社） |
| 備考 |
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| 授業計画の１項目につき、２コマ連続して授業を行う。 【オフィスアワー】水・木5時限，松田研究室 |