| 授業計画 | 授業形態 | 授業時間外学習 |
|---|
| 【1】 | 半導体技術概論（１） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【2】 | 半導体技術概論（２） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【3】 | マイクロ・ナノデバイス概論（１） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【4】 | マイクロ・ナノデバイス概論（２） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく． |
| 【5】 | マイクロ・ナノデバイス概論（３） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【6】 | マイクロ・ナノデバイス概論（４） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【7】 | マイクロ・ナノデバイス概論（５） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【8】 | 微細加工技術（１） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【9】 | 微細加工技術（２） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【10】 | 微細加工技術（３） | 演習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【11】 | マイクロマシン作製実習（１） | 実習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【12】 | マイクロマシン作製実習（２） | 実習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【13】 | マイクロマシン作製実習（３） | 実習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【14】 | マイクロマシン作製実習（４） | 実習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
| 【15】 | マイクロマシン作製実習（５） | 実習 | 参考資料を配布するので，よく読んで理解しておく．(1時間半） |
