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| 徳島文理大学短期大学部 |
| 科目番号 | 00034 | 担当教員名 | 千葉 潔 | 単位 | 2単位 |
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| 科目群 | 専門 | 必修・選択 | 選択 | 開講期 | 前期 | 対象年次 | 4年 |
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| 授業概要 |
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| ナノスケール厚みの固体に機能を持つ物質が、薄膜である。省資源、高機能材料として、エレクトロニクスから環境、食品応用まで、種々の分野で使われている。本講義では、薄膜の作成と分析法、また応用につき学ぶ。真空の概念、薄膜の基礎、また薄膜形成法と薄膜応用の理解を、到達目標とする。 |
| 到達目標 |
| 授業計画 | 授業形態 | 授業時間外学習 | |
|---|---|---|---|
| 【1】 | はじめに | ||
| 【2】 | 薄膜とは | ||
| 【3】 | 真空とは（１） | ||
| 【4】 | 真空とは（２） | ||
| 【5】 | 薄膜の成長モデル | ||
| 【6】 | 薄膜形成法（１）（真空蒸着法） | ||
| 【7】 | 薄膜形成法（２）（スパッタリング法） | ||
| 【8】 | 薄膜形成法（３）（ＣＶＤ法） | ||
| 【9】 | 中間試験、中間まとめ | ||
| 【10】 | 薄膜の分析法 | ||
| 【11】 | 薄膜の評価法 | ||
| 【12】 | 薄膜の応用（１） | ||
| 【13】 | 薄膜の応用（２） | ||
| 【14】 | 薄膜の応用（３） | ||
| 【15】 | まとめ | ||
| 評価方法 |
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| 中間試験、期末試験、出席 |
| 教科書 |
| はじめての薄膜作成技術 草野英二（著） 工業調査会 ２２００円 |
| 参考図書 |
| 備考 |
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