徳島文理大学

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徳島文理大学短期大学部

【科目名】    微細加工

科目番号00151担当教員名松田 和典単位2単位
科目群専門必修・選択選択開講期後期 対象年次3年
授業概要
[授業概要]微細加工技術は、ナノテクノロジーでものづくりするための中核となる技術である。微細加工技術の基礎を学ぶ。半導体技術から、特に光を用いる微細加工につき講義する。
[到達目標]クリーン技術、リソグラフィ、ホログラフィなどの光ナノ技術の基本的理解を到達目標とする。
到達目標
授業計画授業形態授業時間外学習
【1】はじめに講義、演習 
【2】半導体プロセス  
【3】半導体材料物性と製造法  
【4】半導体製造装置とクリーン環境  
【5】光リソグラフィ技術  
【6】電子線、X線、イオンビームリソグラフィ技術  
【7】レジスト材料とエッチング技術  
【8】中間試験、中間まとめ  
【9】光ナノ技術(1)  
【10】光ナノ技術(2)  
【11】光ナノ技術(3)  
【12】光ナノ技術(4)  
【13】光ナノ技術(5)  
【14】光ナノ技術(6)  
【15】まとめ  
評価方法
中間試験、期末試験、出席
教科書
超微細加工の基礎 麻蒔立男 著、日刊工業新聞社、3,900円
参考図書
備考
本講義は、千葉・谷川(英)で行う。
予習・復習を行うこと。