徳島文理大学

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徳島文理大学短期大学部

【科目名】    応用薄膜工学

科目番号34546担当教員名千葉 潔単位2単位
科目群専門必修・選択選択開講期前期 対象年次4年
授業概要
ナノスケール厚みの固体に機能を持つ物質が、薄膜である。省資源、高機能材料として、エレクトロニクスから環境、食品応用まで、種々の分野で使われている。本講義では、薄膜の作成と分析法、また応用につき学ぶ。
到達目標
授業計画授業形態授業時間外学習
【1】はじめに  
【2】薄膜とは  
【3】薄膜作製の基礎(1)  
【4】薄膜作製の基礎(2)  
【5】真空蒸着法  
【6】スパッタリング法  
【7】CVD法  
【8】ゾルゲル法  
【9】中間試験  
【10】薄膜の分析法  
【11】薄膜の評価法  
【12】薄膜の応用(1)  
【13】薄膜の応用(2)  
【14】薄膜の応用(3)  
【15】まとめ  
評価方法
中間試験、期末試験、出席
教科書
はじめての薄膜作成技術 草野英二(著) 工業調査会 2200円
参考図書
備考