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| 徳島文理大学短期大学部 |
| 科目番号 | 00269 | 担当教員名 | 松田 和典 | 単位 | 2単位 |
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| 科目群 | 専門 | 必修・選択 | 選択 | 開講期 | 後期 | 対象年次 | 3年 |
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| 授業概要 |
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| 卒業研究において必要な実験手法・技術を学ぶ。 |
| 到達目標 |
| （１）マイクロ・ナノデバイスの基礎を理解する。 （２）半導体の基礎を理解する。 |
| 授業計画 | 授業形態 | 授業時間外学習 | |
|---|---|---|---|
| 【1】 | 半導体技術概論（１） | 演習 | |
| 【2】 | 半導体技術概論（２） | 演習 | |
| 【3】 | マイクロ・ナノデバイス概論（１） | 演習 | |
| 【4】 | マイクロ・ナノデバイス概論（２） | 演習 | |
| 【5】 | マイクロ・ナノデバイス概論（３） | 演習 | |
| 【6】 | マイクロ・ナノデバイス概論（４） | 演習 | |
| 【7】 | マイクロ・ナノデバイス概論（５） | 演習 | |
| 【8】 | 微細加工技術（１） | 演習 | |
| 【9】 | 微細加工技術（２） | 演習 | |
| 【10】 | 微細加工技術（３） | 演習 | |
| 【11】 | マイクロマシン作製実習（１） | 実習 | |
| 【12】 | マイクロマシン作製実習（２） | 実習 | |
| 【13】 | マイクロマシン作製実習（３） | 実習 | |
| 【14】 | マイクロマシン作製実習（４） | 実習 | |
| 【15】 | マイクロマシン作製実習（５） | 実習 | |
| 評価方法 |
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| 実験ノートを渡し，データ記入，解析などノートのまとめ方について評価する． |
| 教科書 |
| 参考図書 |
| MEMSのはなし（前田龍太郎，日刊工業新聞社） |
| 備考 |
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