徳島文理大学

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徳島文理大学短期大学部

【科目名】    プロジェクトラボB

科目番号00269担当教員名松田 和典単位2単位
科目群専門必修・選択選択開講期後期 対象年次3年
授業概要
卒業研究において必要な実験手法・技術を学ぶ。
到達目標
(1)マイクロ・ナノデバイスの基礎を理解する。
(2)半導体の基礎を理解する。
授業計画授業形態授業時間外学習
【1】半導体技術概論(1)演習 
【2】半導体技術概論(2)演習 
【3】マイクロ・ナノデバイス概論(1)演習 
【4】マイクロ・ナノデバイス概論(2)演習 
【5】マイクロ・ナノデバイス概論(3)演習 
【6】マイクロ・ナノデバイス概論(4)演習 
【7】マイクロ・ナノデバイス概論(5)演習 
【8】微細加工技術(1)演習 
【9】微細加工技術(2)演習 
【10】微細加工技術(3)演習 
【11】マイクロマシン作製実習(1)実習 
【12】マイクロマシン作製実習(2)実習 
【13】マイクロマシン作製実習(3)実習 
【14】マイクロマシン作製実習(4)実習 
【15】マイクロマシン作製実習(5)実習 
評価方法
実験ノートを渡し,データ記入,解析などノートのまとめ方について評価する.
教科書
参考図書
MEMSのはなし(前田龍太郎,日刊工業新聞社)
備考